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簡(jiǎn)要描述:光電輪廓儀的應(yīng)用范圍很廣,它主要用于測(cè)量各種精密加工零件表面的微觀(guān)三維結(jié)構(gòu),如表面粗糙度;零件表面的刻線(xiàn);刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說(shuō),如量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度;標(biāo)尺、度盤(pán)的刻線(xiàn)深度;光柵的槽形結(jié)構(gòu);鍍層厚度和鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌;磁(光)盤(pán)、磁頭表面結(jié)構(gòu)測(cè)量;硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量等等。
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